系统总览
本系统设计用于OLED器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中,或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器(PLC)系统主控器控制。
系统构造
A) 带2道门阀的传递室
B) 带1道门阀的传递室
C)分配室
D)干燥室(干燥剂安放室)
E)UV清洗室
F)封装室
OLED器件面板与后盖玻璃联结暨UV封装室(包括装配系统)。
G UV加工室
H)装片机械手位置
I) 卸片机械手位置
J) 真空烤箱
K) 真空烤箱
概要
工艺流程
OLED器件玻璃
传递室A中的机械手将OLED器件玻璃从沉积设备递送到封装室F(器件玻璃正面朝下)。
在封装过程中,OLED器件玻璃由升高-手指夹持、提升,并被上层平台真空吸附。
后盖玻璃
安放后盖玻璃于盒子中,随后由MGV安放到真空烤箱上。于是,在真空烤箱中,后盖玻璃被加热和抽真空
烘烤后,OLED器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从H递送到UV清洗室。
后盖玻璃在特定气体中UV光清洗,于是E室被干泵抽真空。
当E室中的气压抽到特定值时,N2被清除。
机械手B从UV清洗室E中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室D。
干燥室D中有2台夹起和放置机械,并旋转提供干燥剂。
机械手B从干燥室D夹起后盖玻璃,送至分配室C。
在分配室C,4台分配器把UV胶涂敷在后盖玻璃上,以便绘制图案。
在分涂有UV胶后,后盖玻璃被递送至封装室F。
提升-手指夹持后盖玻璃、下沉,并安放在底座平台上。
当2片玻璃通过CCD对位在封装室后,UV光从底部照射,于是在封装室F两片玻璃被封装在一起。
装配线
装配设备被递送到UV加工室G。
UV光从底部加工装配设备。
加工后,玻璃被机械手Ⅰ通过门阀从UV加工室递送到细分盒。装满后,后者被MGV递送到下道工序。
各室详细情况介绍
1、传递室A和B:
传递方法:单轴机械手递送;ф15mm*LEAD 20mm
递送速度:800mm/sec(最大值)
机械手材料:铝
表面处理:硬性阳极氧化铝
物件夹持方式:手持玻璃外边缘,边缘8mm宽是接触面:
马达:100W伺服马达
冲程:850mm
2、分配室C
分配头由ASYMTEK提供。
分配驱动与控制由LAN技术服务公司制造。
分配系统有4个分配头。
4个分配头的动作可由XZ机械手单独控制。
(a) 分配器: ASYMTEK DV 8000
(b) 驱动: Y机械手、XZ机械手和XYθ平台。
(c) 注射容量: 50cc
(d) 注射数量: 4鸣管
(e) 分配树脂宽度: 1—1.5mm+/-15%
(f) 分配树脂高度: 0.03mm(至0.05mm)
(g) 单元尺寸: 由可变程序控制。
(h) 分配头加热器: 已安装。
(I) 分配头清洗器: 已安装。
参考值:
分配速度大约每分配头1秒钟1英寸。
然而,这受UV胶粘性的影响和变化。
3、干燥室D
本室有干燥剂吸取单元,该单元通过2个分别带有XY机械手的吸盘来吸取干燥材料。
(a) 吸附单元 2头, 一头可在同一时间同一行中拾取3个干燥剂。
(b) 驱动: Y机械手和XY机械手
(c) 供给单元: 轴连递送。
(d) 电吹风: 2套。
(e) 卷轴数量: 2套。
(f) 单元尺寸: 随可变程序调整。
4、UV清洗单元E
灯: 低压水银灯
输入: 200W
灯数量: 8
形状: N形
5、OLED器件玻璃和后盖玻璃联结暨UV封装:
室(包括装备系统): 封装单元F
UV灯: 2盏14KW带气冷功能的UV灯。
气压方式: N2气压。
上层平台: 带真空吸盘的铝板
下层平台: 石英玻璃。
掩膜: 任选。
* 被动器件UV光照时需掩膜保护。
定位方法: 带CCD摄像系统的XYθ平台。
CCD摄像系统:联结精度+/—50微米。
*过后,联结对位标记就相互吻合。
其他: 气冷系统。
6、UV加工室G
室(包括装配系统):封装室D。
UV灯: 1盏带气冷功能的14KW UV灯。
压力方式: 机械压力。
上层平台: 带真空吸盘的铝板。
下层平台: 石英玻璃。
照射方法: 扫描。
对位方法: PIN连接。
7、真空烤箱(J&K)
本室中,通过使用干灯加热的方式
终极真空度: <3*10-2bar
最高温度: 300℃
工作温度: 150℃+5℃
加热方法: 电阻加热
控制方法: PLC控制。
加热速度: 大约1小时从室温升到150℃左右。
8、装片机械手位置H和卸片机械手位置
要放好封装盒位置,两点很重要。
每个封装盒可以安装20片面板。
不论封装盒是空还是满,封装盒可以自动移到卸片位置。
细则
主要单元型号 | UTF-F1000HGR-014 | |
结构 | 汽缸型 | |
操作自由度 | 4 | |
操作区域 | X轴 | 1235mm |
θ轴 | 340度 | |
Z轴 | 520mm | |
R轴 | 185度 | |
最大速度 | X轴 | 900mm/sec |
θ轴 | 140deg/sec | |
Z轴 | 172mm/sec | |
R轴 | 180deg/sec | |
操作时间 | X轴 | 2.6sec |
θ轴 | 4.0sec | |
Z轴 | 3.6sec | |
R轴 | 1.5sec | |
精度 | X轴 | 小于0.001mm/脉冲 |
机械臂操作角 | ||
θ轴 | 0.001度/脉冲 | |
Z轴 | 0.001mm/脉冲 | |
R轴 | 0.001度/脉冲 | |
重复对位精度 | +0.1mm(X、θ、Y) | |
洁净度 | 1级(0.1μm/cf) | |
效用 | 真空度:大于54kpa10NL/min 压缩空气:0.2~0.6MPA | |
传送块 | 5kg(包括手) | |
环境温度 | 0~40℃ | |
重量 | 大约100kg |
注示1:时间是指每轴一个全冲程所需的时间(理论值)
注示2:20次对位精度
包括错误对位(在精确位置左右方向对位的停止位置的不同)。
注示3:洁净度是依据209E联邦标准而得的标准值。
注示4:压缩空气必须经过过滤和干燥。
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